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著者名山崎 隆浩, 田島 暢夫, 金子 智昭, 西川宜孝, 清水達雄, 加藤弘一, 大野 隆央.
タイトル4H-SiC酸化の第一原理/古典的分子動力学シミュレーション
(First-Principles/Classical Molecular Dynamics Simulations of 4H-SiC Oxidation)
会議名応用物理学会春季学術講演会
発表年2015
言語Japanese
外部での文献参照

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