4H-SiC酸化の第一原理／古典的分子動力学シミュレーション
(First-Principles/Classical Molecular Dynamics Simulations of 4H-SiC Oxidation)
応用物理学会春季学術講演会. 2015年03月11日-2015年03月14日.
NIMS著者
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作成時刻: 2017-01-08 05:33:21 +0900 更新時刻: 2017-07-10 22:04:20 +0900