HOME > 口頭発表 > 書誌詳細大気圧プラズマＣＶＤによる窒化物薄膜作製長田 貴弘, 佐久間 芳樹, 安西純一郎, 功刀俊介, 上原剛, 知京 豊裕. 日本電子材料技術協会第43回秋期講演大会. 2006年10月19日-2006年10月20日.NIMS著者長田 貴弘佐久間 芳樹知京 豊裕Materials Data Repository (MDR)上の本文・データセット作成時刻: 2017-02-14 11:12:57 +0900 更新時刻: 2017-07-10 19:44:56 +0900
