MOVPE法によるダイヤモンド基板上の窒化アルミニウムの成長
(Growth of AlN on diamond substrate by MOVPE)
2009年春季 第56回応用物理学関係連合講演会. 2009.
NIMS著者
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作成時刻: 2017-02-14 11:00:36 +0900更新時刻: 2017-07-10 20:28:00 +0900