ダイレクト式大気圧プラズマCVD法によるGaN薄膜の低温成長における水素添加の効果
(The Hydrogen Effect on GaN film Growth by Near-Atmospheric Plasma-Assisted Chemical Vapor Deposition)
2008年春季 第55回応用物理学関係連合講演会 . 2008年03月27日-2008年03月30日.
NIMS著者
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作成時刻: 2017-02-14 11:30:38 +0900 更新時刻: 2017-07-10 20:09:59 +0900