4H-SiC中の貫通螺旋転位は分裂しているか否か
(Are Threading Screw Dislocations in 4H-SiC Split or Not ?)
先進パワー半導体分科会 第２回講演会. 2015.
NIMS著者
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作成時刻: 2017-02-14 11:20:50 +0900更新時刻: 2017-07-10 22:18:27 +0900