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著者名NAGATA, Takahiro, SAKUMA, Yoshiki, UEHARA Tsuyoshi, CHIKYOW, Toyohiro.
タイトルGaN Film Growth by Near-Atmospheric Plasma-Assisted Chemical Vapor Deposition
会議名第16回日本MRS学術シンポジウム(国際シンポジウム)
発表年2005
言語English
外部での文献参照

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