ALD法で作製したアナターゼ型TiO2膜の電気特性
(Electrical Characteristics of Anatase-TiO2 Films by ALD Process)
NIMS Conference 2013. 2013.
NIMS著者
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作成時刻: 2017-01-08 04:05:41 +0900更新時刻: 2017-07-10 21:37:58 +0900