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著者名寺地 徳之, 渡邊 賢司.
タイトル酸素添加条件で成長したホモエピタキシャルダイヤモンド薄膜の欠陥評価
(Defect characterization of homoepitaxial diamond films grown with oxygen addition)
会議名第30回ダイヤモンドシンポジウム
発表年2016
言語Japanese

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