酸素添加条件で成長したホモエピタキシャルダイヤモンド薄膜の欠陥評価
(Defect characterization of homoepitaxial diamond films grown with oxygen addition)
第30回ダイヤモンドシンポジウム. 2016.
NIMS著者
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作成時刻: 2017-02-14 11:21:51 +0900更新時刻: 2017-07-10 22:32:26 +0900