HOME > 口頭発表 > 詳細単結晶(Al,Sc)N薄膜の合成と強誘電体特性評価(Fabrication and ferroelectric evaluation of (Al,Sc)N thin films)著者長谷川 浩太, 清水 荘雄, 大澤 健男, 坂口 勲, 大橋 直樹. 会議名第41回電子材料研究討論会発表年2021言語Japanese
