HOME > 口頭発表 > 書誌詳細反応性スパッタ法を用いたr面サファイア基板上無極性AlN薄膜作製条件の検討立島滉大, 長田貴弘, 石橋啓次, 高橋健一郎, 鈴木摂, 小椋厚志, 知京豊裕. 第23回電子デバイス界面テクノロジー研究会. 2019.NIMS著者立島 滉大長田 貴弘知京 豊裕Materials Data Repository (MDR)上の本文・データセット作成時刻 :2019-07-13 03:00:19 +0900 更新時刻 :2019-07-13 03:00:19 +0900