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反応性スパッタ法を用いたr面サファイア基板上無極性AlN薄膜作製条件の検討

立島滉大, 長田貴弘, 石橋啓次, 高橋健一郎, 鈴木摂, 小椋厚志, 知京豊裕.
第23回電子デバイス界面テクノロジー研究会. 2019.

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    Created at: 2019-07-13 03:00:19 +0900Updated at: 2019-07-13 03:00:19 +0900

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