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著者名梅澤 直人, 白石 賢二, 赤坂泰志, 犬宮誠治, 上殿 明良, 宮崎 誠一, 知京 豊裕, 大野 隆央, 奈良安雄, 山田 啓作.
タイトルHf系High-k ゲート絶縁膜中における酸素空孔の挙動と窒素導入効果
会議名第5回High-kネット合同進歩報告会
発表年2005
言語Japanese
外部での文献参照

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