Theoretical Studies for the Effect of Nitrogen Incorporation into Hf-based High-k Gate
International Workshop on Nano CMOS. 2006年01月30日-2006年02月01日.
NIMS著者
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作成時刻: 2017-01-08 04:02:44 +0900 更新時刻: 2017-07-10 19:33:07 +0900