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著者名KUMAR Ashutosh, UZUHASHI Jun, TANAKA Ryo, TAKASHIMA Shinya, OHKUBO Tadakatsu, HONO Kazuhiro, EDO Masaharu.
タイトルAn atom probe tomographic investigation of Mg distribution in Mg-implanted GaN layers on free standing GaN substrates
会議名International Workshop on Nitride Semiconductors (IWN 2018)
発表年2018
言語English
外部での文献参照

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