An atom probe tomographic investigation of Mg distribution in Mg-implanted GaN layers on free standing GaN substrates
International Workshop on Nitride Semiconductors (IWN 2018). 2018年11月11日-2018年11月16日.
NIMS著者
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作成時刻: 2019-03-04 09:37:05 +0900 更新時刻: 2019-03-04 09:37:05 +0900