STEM/3DAPによるMg注入GaN層のナノ組織解析
(Nanostructural characterization of Mg implanted GaN layers by STEM and 3DAP)
2020年第67回応用物理学会春季学術講演会. 2020年03月12日-2020年03月15日. 招待講演
NIMS著者
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作成時刻: 2020-08-04 03:00:19 +0900 更新時刻: 2024-03-05 12:21:21 +0900