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著者名TAJIMA, Nobuo, HAMADA, Tomoyuki, OHNO, Takahisa, 米田克己, 小林伸好, 羽坂智, 井上實.
タイトルHydrocarbon Groups and Film Properties of SiOCH Dielectrics: Theoretical Investigations using Molecular Models
会議名SSDM( Solid State Devices and Materials )
発表年2005
言語English
外部での文献参照

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