サファイアm面基板上へのScN薄膜のヘテロ成長とその電気特性
(Heteroepitaxial growth and electric properties of scandium nitride films on m-face sapphire substrates)
E-MRS 2014 SPRING MEETING. 2014年05月26日-2014年05月30日.
NIMS著者
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作成時刻: 2017-02-14 11:24:20 +0900更新時刻: 2017-07-10 21:48:40 +0900