AlxGa1-xN系薄膜の放射光軟X線顕微光電子分光法による非破壊電子状態分析
(Non-destructive spectral analysis of AlxGa1-xN filmsby synchrotron soft X-ray photoelectron spectromicroscopy)
2022年第69回応用物理学会春季学術講演会. 2022年03月22日-2022年03月26日.
NIMS著者
Materials Data Repository (MDR)上の本文・データセット
作成時刻: 2022-04-12 03:25:25 +0900更新時刻: 2022-04-12 03:25:25 +0900