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AlxGa1-xN系薄膜の放射光軟X線顕微光電子分光法による非破壊電子状態分析
(Non-destructive spectral analysis of AlxGa1-xN filmsby synchrotron soft X-ray photoelectron spectromicroscopy)

Author(s)竹澤伸吾, 小濱路生, 張文雄, 吹留博一, 渡邊一世, 井村 将隆, 津田 俊輔, 小嗣真人, 永村 直佳.
Event name2022年第69回応用物理学会春季学術講演会
Year of publication2022
LanguageJapanese

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