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酸化グラフェンを感応膜とした膜型表面応力センサ(MSS)のガス応答特性

今村 岳, 南 皓輔, 柴 弘太, 小幡誠司, 吉川 元起, 斉木幸一朗.
第80回応用物理学会秋季学術講演会. 2019.

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    作成時刻: 2019-10-22 03:00:27 +0900更新時刻: 2019-10-22 03:00:27 +0900

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