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Epitaxial growth of AlN film using Al-Sn flux
(Al-Snフラックスを用いたAlN層のエピタキシャル成長)

著者SONG, Yelim, KAWAMURA, Fumio, TANIGUCHI, Takashi, SHIMAMURA, Kiyoshi, OHASHI, Naoki.
会議名第48回結晶成長国内会議(JCCG-48)
発表年2019
言語English

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