Development of Atomic Layer Deposition Technique of AlxGa1-xN for Hydrogen-terminated diamond MIS-FETs
The 8th Asian Conference on Crystal Growth and Crystal Technology. 2021年03月01日-2021年03月03日.
NIMS著者
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作成時刻: 2021-09-28 22:44:09 +0900更新時刻: 2021-09-28 22:44:09 +0900