拡散バリアによるPt 薄膜へのRu 拡散抑制方法
(A method to suppress diffusion of Ru into Pt films by a diffusion barrier)
ナノテクジャパン - 第56回応用物理学関係連合講演会. 2009.
NIMS著者
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作成時刻: 2017-02-14 11:11:41 +0900更新時刻: 2017-07-10 20:28:58 +0900