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拡散バリアによるPt 薄膜へのRu 拡散抑制方法
(A method to suppress diffusion of Ru into Pt films by a diffusion barrier)

著者キム テヨン, 吉武 道子, 森本章治, 川崎健太郎, 川江健, 柳生 進二郎, 知京 豊裕.
会議名ナノテクジャパン - 第56回応用物理学関係連合講演会
発表年2009
言語Japanese

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