HOME > Presentation > Detail拡散バリアによるPt 薄膜へのRu 拡散抑制方法(A method to suppress diffusion of Ru into Pt films by a diffusion barrier)キム テヨン, 吉武 道子, 森本章治, 川崎健太郎, 川江健, 柳生 進二郎, 知京 豊裕. ナノテクジャパン - 第56回応用物理学関係連合講演会. 2009.NIMS author(s)YOSHITAKE, MichikoYAGYU, ShinjiroCHIKYO, ToyohiroFulltext and dataset(s) on Materials Data Repository (MDR)Created at: 2017-02-14 11:11:41 +0900Updated at: 2017-07-10 20:28:58 +0900