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著者名YAMASHITA, Yoshiyuki, CHIKYOW, Toyohiro.
タイトルDirect observation of bias-dependence potential distribution in metal/HfO2 gate stack structures by operando hard x-ray photoelectron spectroscopy
会議名the Fourteenth International Conference on Electronic Spectroscopy and Structure
発表年2018
言語English
外部での文献参照

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