4D-STEMケプストラムマッチングによるScAlN薄膜のミクロ組織解析
(Microstructural characterization of ScAlN thin film by 4D-STEM cepstrum matching)
第87回応用物理学会秋季学術講演会. 2026年09月08日-2026年09月11日.
NIMS著者
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作成時刻: 2026-10-31 03:07:46 +0900 更新時刻: 2026-10-31 03:07:46 +0900