(TaC)1-xAlx/HfO2ゲートスタックでVfbシフトへ及ぼすAl原子の役割
(Role of Al atoms in (TaC)1-xAlx on Vfb shift for (TaC)1-xAlx/HfO2 gate stack)
ゲートスタック研究会 ―材料・プロセス・評価の物理―（第17回）. 2012.
NIMS著者
Materials Data Repository (MDR)上の本文・データセット
作成時刻: 2017-02-14 10:51:40 +0900更新時刻: 2018-06-05 13:02:33 +0900