HOME > 口頭発表 > 書誌詳細Demonstration of ferroelectricity in non-substituted AlN thin films fabricated by sputtering method長谷川 浩太, SHIMIZU, Takao, OHSAWA, Takeo, SAKAGUCHI, Isao, OHASHI, Naoki. MNC2023. 2023年11月14日-2023年11月17日.NIMS著者清水 荘雄大澤 健男坂口 勲大橋 直樹Materials Data Repository (MDR)上の本文・データセット作成時刻: 2024-01-09 03:10:21 +0900更新時刻: 2024-01-09 03:10:21 +0900