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負銅イオン照射した窒化珪素膜の光学的性質
(Optical Property of silicon nitride film irraidated with negative copper ion)
2004年(平成16年）春季応用物理学関係連合講演会. March 28, 2004-March 31, 2004.
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Created at: 2017-01-08 05:04:49 +0900 Updated at: 2017-07-10 18:55:16 +0900