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ALD成長In2O3薄膜のSe化
(Selenization of ALD-grown In2O3 thin films)

著者近野 健人, 木津 たきお, 塚越 一仁, 上野 啓司.
会議名2018年 第79回応用物理学会秋季学術講演会
発表年2018
言語Japanese

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