ALD成長In2O3薄膜のSe化
(Selenization of ALD-grown In2O3 thin films)
2018年 第79回応用物理学会秋季学術講演会. 2018年09月18日-2018年09月21日.
NIMS著者
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作成時刻: 2018-06-28 16:44:27 +0900 更新時刻: 2018-06-28 16:44:27 +0900