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著者名関口 隆史, 陳 君, 伊藤俊.
タイトル電子線誘起電流(EBIC)法を用いた多結晶Si中の粒界の電気的活性度評価
(EBIC characterization of grain boundaries in multicrystalline Si)
会議名2007年春季第54回応用物理学関係連合講演会
発表年2007
言語Japanese
外部での文献参照

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