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著者名MOMIDA, Hiroyoshi, Tomoyuki Hamada, Takenori Yamamoto, Tsuyoshi Uda, UMEZAWA, Naoto, Kenji Shiraishi, CHIKYOW, Toyohiro, OHNO, Takahisa.
タイトルMicroscopic Effect of Nitrogen Doping on Dielectric Constant of Hf-silicate
会議名2005 Int. Conf. on Solid State Devices and Materials (SSDM2005)
発表年2005
言語English
外部での文献参照

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