Microscopic Effect of Nitrogen Doping on Dielectric Constant of Hf-silicate

MOMIDA, Hiroyoshi, Tomoyuki Hamada, Takenori Yamamoto, Tsuyoshi Uda, UMEZAWA, Naoto, Kenji Shiraishi, CHIKYOW, Toyohiro, OHNO, Takahisa.

2005 Int. Conf. on Solid State Devices and Materials (SSDM2005). 2005年09月13日-2005年09月15日.

作成時刻: 2017-02-25 01:06:47 +0900 更新時刻: 2017-07-10 19:31:08 +0900