Si基板上無極性面AlN成長のためのZnxMn1-xSバッファー層の作製条件の検討
(Study on the growth condition of ZnxMn1-xS buffer layer for nonpolar AlN growth on Si)
2020年 第81回 応用物理学会 秋季学術講演会. 2020.
NIMS著者
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作成時刻: 2021-09-18 03:00:23 +0900更新時刻: 2021-09-18 03:00:23 +0900