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ダイレクト式大気圧プラズマCVD法によるGaN薄膜の低温成長

長田 貴弘, 佐久間 芳樹, 安西純一郎, 功刀俊介, 上原剛, 知京 豊裕.
2007年春季 第54回応用物理学関係連合講演会 . 2007年03月27日-2007年03月30日.

NIMS著者


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    作成時刻: 2017-02-14 10:59:33 +0900 更新時刻: 2017-07-10 19:50:55 +0900

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