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著者名小泉聡, 寺地徳之, 嶋岡毅紘.
タイトル{111}単結晶CVD厚膜表面での高濃度リンドープダイヤモンド成長
(Phosphorus doped diamond growth on thick {111} CVD homoepitaxial diamond substrates)
会議名第31回ダイヤモンドシンポジウム
発表年2017
言語Japanese

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