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FIB基板加工による単結晶膜成長時の基板との歪開放
(Trench Formation for Releasing the Strain between Substrates and Epitaxial Films)

著者吉武 道子, 柳生 進二郎, 知京 豊裕.
会議名第79回応用物理学会秋季学術講演会
発表年2018
言語Japanese

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