HOME > 口頭発表 > 書誌詳細FIB基板加工による単結晶膜成長時の基板との歪開放(Trench Formation for Releasing the Strain between Substrates and Epitaxial Films)吉武 道子, 柳生 進二郎, 知京 豊裕. 第79回応用物理学会秋季学術講演会. 2018.NIMS著者吉武 道子柳生 進二郎知京 豊裕Materials Data Repository (MDR)上の本文・データセット作成時刻: 2018-07-01 16:43:05 +0900更新時刻: 2018-07-01 16:43:05 +0900