Impact of ALD-ZrO2 nucleation layers on leakage current properties and dielectric constant of ferroelectric HfxZr1−xO2-thin films
36th International Microprocesses and Nanotechnology Conference (MNC 2023). 2023年11月14日-2023年11月17日.
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作成時刻: 2023-11-30 03:15:56 +0900更新時刻: 2023-11-30 03:15:56 +0900