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大気圧プラズマCVD法によるGaN薄膜の低温成長
(Fabrication of GaN films by Near-Atmospheric Plasma-Assisted Chemical Vapor Deposition at Low Temperature)

2006年春季 第53回応用物理学関係連合講演会. 2006.

NIMS著者


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    作成時刻 :2017-01-08 04:04:16 +0900 更新時刻 :2017-07-10 19:35:40 +0900

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