放射光軟X線顕微光電子分光法によるAlxGa1-xN系薄膜の非破壊電子状態分析
(Non-destructive spectral analysis of AlxGa1-xN films by synchrotron soft X-ray photoelectron spectromicriscopy)
NIMS先端計測シンポジウム2022
https://www.nims.go.jp/research/materials-analysis/events/amcp_sympo2022.html. 2022.
NIMS著者
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作成時刻: 2022-06-21 03:14:38 +0900更新時刻: 2022-06-21 03:14:38 +0900