HOME > 口頭発表 > 詳細放射光軟X線顕微光電子分光法によるAlxGa1-xN系薄膜の非破壊電子状態分析 (Non-destructive spectral analysis of AlxGa1-xN films by synchrotron soft X-ray photoelectron spectromicriscopy)著者竹澤 伸吾, 小濱 路生, 張 文雄, 吹留 博一, 渡邊 一世, 井村 将隆, 津田 俊輔, 小嗣 真人, 永村 直佳. 会議名NIMS先端計測シンポジウム2022 https://www.nims.go.jp/research/materials-analysis/events/amcp_sympo2022.html発表年2022言語Japanese