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Ferroelectricity of Ferroelectric HfxZr1−xO2/Antiferroelectric ZrO2 Stack Structure Fabricated by Atomic Layer Deposition

ONAYA, Takashi, NABATAME, Toshihide, Y. C. Jung, H. Hernandez-Arriaga, J. Mohan, H. S. Kim, A. Khosravi, 澤本 直美, NAGATA, Takahiro, R. M. Wallace, J. Kim, 小椋 厚志.
20th International Conference on Atomic Layer Deposition. 2020.

NIMS著者


Materials Data Repository (MDR)上の本文・データセット


    作成時刻 :2020-11-30 14:06:47 +0900 更新時刻 :2020-11-30 14:06:47 +0900

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