Nb:SrTiO3基板上のエピタキシャル(Al,Sc)N薄膜における強誘電体特性
(Ferroelectric properties of epitaxial (Al,Sc)N thin films grown on Nb:SrTiO3 substrates)
2022年第69回応用物理学会春季学術講演会. 2022.
NIMS著者
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作成時刻: 2022-04-12 03:25:26 +0900更新時刻: 2022-04-12 03:25:26 +0900