熱フィラメントCVD法により成長したリン添加多結晶ダイヤモンド膜のカソードルミネッセンス評価
(Cathodoluminescence evaluation of phosphorus-doped polycrystalline diamond films formed by hot-filament CVD)
第20回 Cat-CVD研究会. 2023年06月22日-2023年06月23日.
NIMS著者
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作成時刻: 2023-11-27 14:51:24 +0900更新時刻: 2023-11-27 14:51:24 +0900