HOME > 口頭発表 > 書誌詳細多結晶HfO2薄膜における酸素欠陥の凝集・拡散に関する理論的検討(Theoretical Study of Oxygen vacancies in Grain in Polycrystalline HfO2 Thin Film)肥田 聡太, 森田 巧, 山崎 隆浩, 奈良 純, 大野 隆央, 木下健太郎. 第79回応用物理学会秋季学術講演会. 2018年09月18日-2018年09月21日.NIMS著者奈良 純Materials Data Repository (MDR)上の本文・データセット作成時刻: 2019-03-04 09:36:48 +0900更新時刻: 2019-03-04 09:36:48 +0900