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著者名肥田 聡太, 森田 巧, 山崎 隆浩, 奈良 純, 大野 隆央, 木下健太郎.
タイトル多結晶HfO2薄膜における酸素欠陥の凝集・拡散に関する理論的検討
(Theoretical Study of Oxygen vacancies in Grain in Polycrystalline HfO2 Thin Film)
会議名第79回応用物理学会秋季学術講演会
発表年2018
言語Japanese
外部での文献参照

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