HOME > 公開特許出願 > 書誌詳細[公開特許出願] 最適イオン化ポテンシャル成膜装置2014-01-30. 特開2014015660号 (Google Patents) , 特許6040470号NIMS著者知京 豊裕吉武 道子後藤 真宏柳生 進二郎作成時刻 :2023-07-22 21:45:39 +0900 更新時刻 :2023-07-22 21:45:39 +0900
