HOME > その他の文献 > 書誌詳細Formation of SiC thin films by ion beam irradiationHISHITA, Shunichi, OYOSHI, Keiji, SUEHARA, Shigeru, AIZAWA, Takashi. Key Engineering Materials 179-182. 1999.NIMS著者大吉 啓司末原 茂相澤 俊Materials Data Repository (MDR)上の本文・データセット作成時刻: 2022-09-05 10:56:13 +0900 更新時刻: 2022-09-05 10:56:13 +0900
