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著者名宮澤 徹也, 栗原 真志, 大野 真也, 橋本 綾子, 中山 泰生, 小澤 健一, 菊地 貴司, 間瀬 一彦.
タイトル無酸素パラジウム/チタンを用いた新しい非蒸発型ゲッターコーティングの開発,放射光 X 線光電子分光による表面分析, 残留ガス分析,排気速度評価
(Development of a New Nonevaporable Getter Coating Using Oxygen-Free Palladium/Titanium, Surface Analysis by Synchrotron Radiation X-ray Photoelectron Spectroscopy, Residual Gas Analysis, and Evaluation of Pumping Speeds)
掲載誌名表面と真空 62 [9] 568-573
出版社
発表年2019
言語Japanese
DOIhttps://doi.org/10.1380/vss.62.568
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