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無酸素パラジウム/チタンを用いた新しい非蒸発型ゲッターコーティングの開発,放射光X線光電子分光による表面分析,残留ガス分析,排気速度評価
(Development of a New Nonevaporable Getter Coating Using Oxygen-Free Palladium/Titanium, Surface Analysis by Synchrotron Radiation X-ray Photoelectron Spectroscopy, Residual Gas Analysis, and Evaluation of Pumping Speeds)

宮澤 徹也, 栗原 真志, 大野 真也, 橋本 綾子, 中山 泰生, 小澤 健一, 菊地 貴司, 間瀬 一彦.
表面と真空 62 [9] 568-573. 2019.

NIMS著者


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    作成時刻: 2019-10-22 03:00:22 +0900更新時刻: 2024-06-04 05:28:58 +0900

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