無酸素パラジウム/チタンを用いた新しい非蒸発型ゲッターコーティングの開発,放射光X線光電子分光による表面分析,残留ガス分析,排気速度評価 (Development of a New Nonevaporable Getter Coating Using Oxygen-Free Palladium/Titanium, Surface Analysis by Synchrotron Radiation X-ray Photoelectron Spectroscopy, Residual Gas Analysis, and Evaluation of Pumping Speeds)