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Electrical conductivity measurement of silicon wire prepared by CVD

著者Hiroshi Suzuki, Hiroshi Araki, Masahiro Tosa, Tetsuji Noda.
掲載誌名Chemical Physics Letters 468 [4-6] 211-215
ISSN: 00092614
ESIでのカテゴリ: CHEMISTRY
出版社Elsevier BV
発表年2009
言語English
DOIhttps://doi.org/10.1016/j.cplett.2008.11.090
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