Hetero-Epitaxial Growth of ZnO Film by Temperature-Modulated Metalorganic Chemical Vapor Deposition
(温度変調有機化学堆積法によるZnO薄膜のヘテロエピタキシャル成長)

著者	Eiji Fujimoto, Masatomo Sumiya, Tsuyoshi Ohnishi, Kenji Watanabe, Mikk Lippmaa, Yuji Matsumoto, Hideomi Koinuma.
掲載誌名	Applied Physics Express 2 045502 ISSN: 18820786, 09538984, 18820778 ESIでのカテゴリ: PHYSICS
出版社	IOP Publishing
発表年	2009
言語	English
DOI	https://doi.org/10.1143/apex.2.045502
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