Realization of closed-loop optimization of epitaxial titanium nitride thin-film growth via machine learning

著者	I. Ohkubo, Z. Hou, J.N. Lee, T. Aizawa, M. Lippmaa, T. Chikyow, K. Tsuda, T. Mori.
掲載誌名	Materials Today Physics 16 100296 ISSN: 25425293
出版社	Elsevier BV
発表年	2021
言語	English
DOI	https://doi.org/10.1016/j.mtphys.2020.100296
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