Development of a flux-film-coated sputtering (FFC-sputtering) method for fabricating c-axis oriented AlN film

著者	Y. Song, F. Kawamura, K. Shimamura, T. Ohgaki, N. Ohashi.
掲載誌名	AIP Advances 10 [11] 115011 ISSN: 21583226 ESIでのカテゴリ: MATERIALS SCIENCE
出版社	AIP Publishing
発表年	2020
言語	English
DOI	https://doi.org/10.1063/5.0025736
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