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Development of a flux-film-coated sputtering (FFC-sputtering) method for fabricating c-axis oriented AlN film

著者Y. Song, F. Kawamura, K. Shimamura, T. Ohgaki, N. Ohashi.
掲載誌名AIP Advances 10 [11] 115011
ISSN: 21583226
ESIでのカテゴリ: MATERIALS SCIENCE
出版社AIP Publishing
発表年2020
言語English
DOIhttps://doi.org/10.1063/5.0025736
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