Development of a flux-film-coated sputtering (FFC-sputtering) method for fabricating c-axis oriented AlN film
著者 | Y. Song, F. Kawamura, K. Shimamura, T. Ohgaki, N. Ohashi. |
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掲載誌名 | AIP Advances 10 [11] 115011 ISSN: 21583226 ESIでのカテゴリ: MATERIALS SCIENCE |
出版社 | AIP Publishing |
発表年 | 2020 |
言語 | English |
DOI | https://doi.org/10.1063/5.0025736 |
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